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            潔凈室基礎(chǔ)知識與管理

            發(fā)布時間:2019-04-11 02:58:48

            潔凈室:空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。



            現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn):GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范。
            各種條件下微塵狀況



            塵埃粒子直徑的示意圖:



            灰塵又是如何產(chǎn)生的呢?



            一般事務(wù)室里拍攝的例子
            熒光燈全部消失的場合:



            走路樣子對比時候發(fā)塵
            左邊是穿一般的工作服走路時候發(fā)塵的樣子。右邊是穿潔凈服走路時候發(fā)塵的樣子。



            拍擊工作服時產(chǎn)生的塵埃粒子對比
            左邊是拍擊一般的工作服時發(fā)塵的樣子。右邊是拍擊潔凈服時發(fā)塵的樣子。




            潔凈室內(nèi)的事例
            作業(yè)人員通過后,塵埃附著在玻璃上的樣子。



            浮游粒子
            使用 ParticleEyeDCF 統(tǒng)計浮游粒子數(shù)量。



            紙張的發(fā)塵對比
            左邊是普通紙,右邊是無塵紙。



            膠帶和手套的發(fā)塵例子
            左邊是紙芯膠帶的發(fā)塵的樣子,右邊是PVC手套的發(fā)塵。



            電動工具的發(fā)塵例子
            左邊是電鉆發(fā)塵的樣子。右邊是真空泵發(fā)塵的樣子。



            吸塵器排氣的例子
            吸塵器各地方排氣泄漏的樣子。



            打噴嚏時從嘴里泄漏飛沫的樣子:

            打噴嚏時瞬間發(fā)生的飛沫。




            發(fā)汗現(xiàn)象:從胳膊發(fā)汗條件創(chuàng)造。



            吸煙的例子:香煙煙霧的粒子。



            運動時產(chǎn)生的塵埃粒子數(shù)量



            灰塵是如何去除的呢?



            潔凈室的空氣凈化:



            手持簡易型激光粒子計數(shù)器
            測量空氣中微粒的數(shù)量:
            限于體量和重量,手持式激光粒子計數(shù)器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺(0.1cfm),即每分鐘2.83升(2.83L/m),其最小粒徑通道一般為0.3μm。通常均可采用電池或交流電工作。
            這類產(chǎn)品粒徑通道又可分為雙通道型,如美國Met One公司生產(chǎn)的HHPC-2型,有0.3和0.5μm及0.5和5μm兩種標(biāo)準(zhǔn)配置。
            由于這類產(chǎn)品采樣空氣量小,測量精度相對較低,但隨檢測人員移動靈便,適用于各種潔凈室的監(jiān)測,判定過濾設(shè)備的效率和密封性。這類產(chǎn)品可存儲一定量的采樣數(shù)據(jù),備有下載軟件,均不帶打印裝置。



            高效過濾器
            高效過濾器檢漏:
            卸下HEPA的散流板,對整個濾器面、濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進(jìn)行掃描。掃描時采樣頭距濾器面約1英寸(約2.54cm),掃描速度不超過5cm/s。掃描按直線來回往復(fù)地進(jìn)行,線條間應(yīng)重疊。檢測過程中,若有報警聲 (即%LEAKAGE(泄漏率)超過0.01%),表明有泄漏。泄漏處經(jīng)用硅膠堵漏或緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢。檢查一個過濾器約為5min 左右,在測試的過程中,應(yīng)經(jīng)常確認(rèn)上游氣溶膠的濃度,注意在檢測過程中應(yīng)帶防護(hù)面罩和防護(hù)眼罩。



            風(fēng)量罩
            測量送風(fēng)風(fēng)速:
            風(fēng)量罩主要由三個部分構(gòu)成:風(fēng)量罩體、基座、PDA構(gòu)成。
            風(fēng)量罩體主要用于采集風(fēng)量,將風(fēng)匯集至基礎(chǔ)上的風(fēng)速均勻器上。在風(fēng)速均勻器上裝有熱式傳感器,熱式傳感器將風(fēng)速的變化,再根據(jù)基底的尺寸將風(fēng)量計算出來.風(fēng)量罩的顯示采用PDA,大屏幕液晶屏顯示直觀,直接可以得到風(fēng)速和風(fēng)量的數(shù)據(jù)。操作簡單,可以設(shè)置記錄時間間隔進(jìn)行連續(xù)的參數(shù)記錄,以便對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。測量和記錄的數(shù)據(jù)被記錄在存儲卡上,不會丟失,可以通過計算機的串口將數(shù)據(jù)傳遞到PC機上以及做進(jìn)一步的應(yīng)用。
            風(fēng)罩的測量技術(shù)要求:



            壓差測定儀表
            壓差檢測:普通潔凈室不同級別逐級之間、潔凈室與非潔凈區(qū)之間的微壓差一般為5~10Pa,某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴散,其進(jìn)入通路的各個房間之間的負(fù)壓差需要維持-10~-30Pa。
            根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB19489-2008“實驗室、生物安全通用要求”的規(guī)定:相對于大氣壓污染區(qū)為-40Pa,根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB50346-2011“生物安全實驗室建筑技術(shù)規(guī)范”的規(guī)定:與室外方向上相鄰相通房間的最小負(fù)壓差為-10Pa。
            在各級空氣過濾器處,應(yīng)配置微壓差計并與過濾器前后的靜壓引出管相連,以便隨時監(jiān)測氣流通過空氣過濾器的壓力降。有些微壓差計還備有可調(diào)節(jié)壓差設(shè)定的報警標(biāo)定值,以便超過規(guī)定壓差時輸出報警信號。



            溫濕度計
            測量溫濕度:電子溫濕度計因其方便、可靠、便于距離測量等優(yōu)點,在潔凈室檢測、監(jiān)測中廣泛使用。常見的有電容式和電阻式傳感器,輔以相應(yīng)電學(xué)儀器,即可測定空氣的相對濕度。
            電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體,或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成。
            它們都是利用了在不同濕空氣中,由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。
            氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長,工作穩(wěn)定性好,使用較普遍。
            電容式傳感器:電容式濕度傳感器基本上是一個電容器,在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜,水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放,隨著水分子的吸附與釋放,高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。因為介電系數(shù)隨空氣中的相對濕度變化而變化,因此,只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對濕度。
            照明:淚滴型照明燈具,嵌入式照明燈具。



            照度計
            照度測試:照度測試宜采用便攜式數(shù)字照度計。
            潔凈室(區(qū))照度的檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光輸出穩(wěn)定的狀態(tài)后進(jìn)行;對新熒光燈區(qū)應(yīng)使用100h以上,并在點燃15min后進(jìn)行測試。
            照度測試點應(yīng)選擇在工作面高度進(jìn)行,一般宜為0.85m,通道測試高度宜為0.2m;測試點數(shù)量可按每50㎡潔凈室(區(qū))面積一個點計算,但每個房間不得少于1點。



            靜電檢測儀
            測量靜電:該類測試儀表不直接與帶電體接觸,而是運用靜電感應(yīng)的原理,間接測試帶電體的靜電電位。由于這種測試不是直接同帶電體相接觸,因此也稱非接觸式測量。



            靜電感應(yīng)原理:是將測試探頭靠近帶電體,利用探頭與被測帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場測試帶電體的表面電位。
            靜電控制
            ESD控制= Man(人)+ Machine (機) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(環(huán))。



            風(fēng)淋室(Airshower)
            風(fēng)淋室設(shè)于無塵室入口處,具有以下功能:
            人員管制;AIR LOCK 氣鎖功能,防止交叉污染;
            風(fēng)速20-25m/s吹落塵埃帶走功能,用以吹除人體衣服上及設(shè)備、物料、工具的塵埃。



            注:正確使用風(fēng)淋室,能夠減少帶入室內(nèi)的灰塵。正確聽從風(fēng)淋室播音員的指示進(jìn)行操作,夠去除95%的1μ以上的灰塵。
             
            傳遞箱 (PASS BOX)
            置于潔凈室隔間墻上之裝置功能:
            做為潔凈室內(nèi)外物品傳遞之緩沖區(qū),其可防止于傳遞物品時由于門的開啟而破壞了潔凈室氣流與室壓;
            可減少作業(yè)人員走動的時間而防止外區(qū)塵埃的進(jìn)入;
            進(jìn)出口具有不可同時開啟的聯(lián)鎖控制,以達(dá)到防止交叉污染。



            潔凈室及潔凈區(qū)潔凈度等級



            潔凈室的管理四大原則:



            不將灰塵帶入



            不讓灰塵產(chǎn)生
            正確穿著潔凈服:



            正確使用風(fēng)淋室之進(jìn)入潔凈室



            使用風(fēng)淋室注意事項



            正確使用風(fēng)淋室之走出潔凈室流程



            潔凈室禁止攜帶物品舉例
            潔凈室禁止帶入易發(fā)塵物品、數(shù)碼產(chǎn)品、食品、個人物品、不使用物品、未清潔物品及工具等。



            潔凈室專用物品舉例
            潔凈室必須使用專用物品:



            不讓灰塵堆積-潔凈室 (Clean Room)的清掃
            以A⇒B⇒C⇒D⇒E的順序、從上往下進(jìn)行清掃。
            清掃區(qū)域要點圖:



            A :樓承板及天花板上梁清掃:
            用無塵布清理灰塵;
            用純水無塵布清掃房梁、吊頂螺栓 手夠不到的地方用拖把用純水擦拭一次以上。
            要點:將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi)、用無塵布沾濕后絞干擦洗,在梁上不要殘留下痕跡。
            B:樓承板及天花板上設(shè)備機器清掃
            保護(hù)膜全部撕掉、用無塵布清理掉積塵;
            用純水無塵布清掃配管、管路、線纜橋架等手夠不到的地方用拖把用純水至少擦拭一次以上。
            要點:將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi)、用無塵布沾濕后絞干擦洗:在配管等上面不要殘留下痕跡。
            C:樓承板及天花板清掃
            收拾垃圾、用拖把拖⇒樓承板及天花板上用純水擦拭將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi)、用無塵布沾濕后絞干擦洗:在天花板上面不要殘留下痕跡。
            D:樓承板及天花板下設(shè)備機器清掃
            保護(hù)膜全部去除、有電氣機器接觸的部分用干無塵布擦拭其他配管、管路、橋架等用純水擦拭清掃。暖通南社制作。
            E:地板清掃
            操作順序是先撕掉保護(hù)膜⇒收拾垃圾?用清掃機收拾垃圾、用無塵拖把清潔⇒用純水擦拭來進(jìn)行地板清掃(強力的污漬用噴霧劑對應(yīng))⇒干燥。
            柱子?閥門用水擦拭、墻壁的鋁蜂巢板用擦拭的方法進(jìn)行清潔。生產(chǎn)盤由設(shè)置的業(yè)者負(fù)責(zé)任的進(jìn)行干擦拭清掃(柱子的話事前能夠清掃的地方進(jìn)行清掃。
            注意:務(wù)必將作業(yè)區(qū)域跟清掃區(qū)域區(qū)分開來。
             
            清掃事例
            ①從上往下清潔;
            ②從里往外清潔;
            ③朝一個方向清潔。



            潔凈室清潔工具及清潔產(chǎn)品
            潔凈室必須使用專用清潔工具及清潔產(chǎn)品:



            迅速排出灰塵



            潔凈室內(nèi)的注意事項
            1.潔凈室內(nèi)禁止跑動,走路時禁止拖防靜電鞋。
            2.禁止閑聊、吵鬧,大聲叫人。
            3.個人用品(手機,手表等)及食物禁止搬入潔凈室內(nèi)。
            4.搬入資材及易耗品等生產(chǎn)物品時必須通過風(fēng)淋合格箱進(jìn)行洗潔作業(yè)后再搬入。
            5.化妝或涂指甲油的人禁止出入。
            6.防靜電帽,防靜電服外露出頭發(fā),眼眉,一般服裝不正確時立即到更衣室(Smock Room)點檢著裝之后再次通過風(fēng)淋室(Air Shower)后入室。
            7.防靜電手套及手指套被破損或受污染時立即更換新的使用。
            8.作業(yè)時Clean Room帽(防靜電帽),防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時通知組長交換新的使用。
            9.開始作業(yè)時、終了時,休息時間過后要用滾筒架清掃作業(yè)臺及周邊。
            10.作業(yè)臺上禁止放置不必要的什器。
            11.禁止坐著轉(zhuǎn)動椅子或向后擺動。
            12.禁止靠在裝備、墻,作業(yè)臺等。
            13.禁止坐在地板上。
            14.禁止用手套觸摸皮膚。
            15.交換器及電源等電裝置要注意觸電。
            16.完成作業(yè)之后整理,整頓作業(yè)臺、尺工具及周圍后退室。
             
            某光電廠房潔凈室管理
            潔凈室進(jìn)退流程:



            人員訓(xùn)練與資格考核
            凡需進(jìn)入無塵室工作人員,無論本公司或公司外部人士,除外賓外(客戶、VIP等)。
            任何人員皆需經(jīng)潔凈室訓(xùn)練或資格考核及格,方可進(jìn)出無塵室。
            人員需經(jīng)資格考核及格后,無塵室管制室方可發(fā)放無塵衣。
             
            外部人員進(jìn)入無塵室之申請
            外部人員進(jìn)入無塵室,由相關(guān)單位代為提出「無塵室申請單」。
            施工廠商可由警衛(wèi)室申請「臨時工作證」或由相關(guān)單位代為申請「長期工作證」。
             
            進(jìn)入更衣室與洗塵之管制
            管制室應(yīng)做到監(jiān)控人、事、物之進(jìn)出需合乎規(guī)定。
            不可化妝,包含口紅、粉底、指甲油、眼影、香水。
            個人應(yīng)保持良好衛(wèi)生習(xí)慣,每日洗澡、刮胡子和定期洗頭,經(jīng)常洗手保持手部甲清潔。
            不可攜帶私人物品,如香煙、打火機、食物飲料、化妝品、手鐲、耳環(huán)、戒指。
            除無塵室專用文具外,嚴(yán)禁攜入鉛筆、自來水筆、橡皮擦、蠟筆與一般紙張等。
            棉質(zhì)、紙盒、木材等易產(chǎn)生粉塵材料的物品禁止攜入無塵室 。
            吸煙30分鐘后方可進(jìn)入無塵室。
            施工廠商需有專人陪同方可進(jìn)入無塵室。
             
            更衣步驟:



            安全衛(wèi)生之管制
            無塵室內(nèi)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)環(huán)境異狀(不明之聲音、煙蒂、溶劑及味道)應(yīng)迅速反應(yīng)至組長或相關(guān)人員、主管。
            毒氣外露警報聲響時,應(yīng)迅速呼叫同仁由安全門撤離,并應(yīng)迅速反應(yīng)至組長或相關(guān)人員、主管。
            嚴(yán)禁切、削、鉆等工程,如有必要需先做防塵措施與施工區(qū)域隔離措施。
            如遇緊急狀況,依工安單位規(guī)定之逃生路線,以最快速度離開無塵室。
            緊急逃生時可不脫去無塵衣物 。
            緊急狀況消除后,靜候通知進(jìn)入無塵室,并更換干凈之無塵衣物。
             
            紀(jì)律管理
            Class10,000區(qū)人員至Class100,000區(qū)作業(yè)后,若需重回Class10,000區(qū)者需經(jīng)AIR SHOWER吹送后方可重回Class10,000區(qū);而穿著Class100,000區(qū)無塵衣人員絕對禁止至Class10,000區(qū)。
            不得坐于地板上,并嚴(yán)禁僅貼機臺、墻壁、工作桌。
            面對Cassette或機臺時禁止講話、較大之肢體動作,并嚴(yán)禁快速走動或追逐(警急警報響時除外),保持慢速走動 。
            除新人訓(xùn)練、公事交接外,應(yīng)避免兩人以上交談。
            Cassette或Tray不可置于地面,除Cassette待清洗區(qū)外。
            禁止勾肩搭背、觸摸其它人員或兩人同坐一張無塵椅 。
            無塵室內(nèi)絕對禁止拍照錄像,如有必要需經(jīng)廠長同意 。
            除非具合格之人員,否則嚴(yán)禁操作任何機臺。
             
            物品、器具、化學(xué)品之管制
            應(yīng)避免亂流產(chǎn)生與在機臺區(qū)氣流之上方等處放置物品或執(zhí)行其它作業(yè) 。
            化學(xué)藥品應(yīng)置于化學(xué)柜內(nèi)。
            化學(xué)藥品應(yīng)有明確之中英文標(biāo)示。
            使用過無塵布、無塵紙一律置于垃圾桶內(nèi)。
             
            無塵室門之管制
            隨手關(guān)門,無塵室之信道門應(yīng)隨時保持緊閉。
            禁止用推車頂門。
            門有損壞時應(yīng)立刻通知處理。
             
            電線、插座、蛇管之管制
            機臺之管線應(yīng)用束線帶束緊,固定于墻角或不妨礙通行之角落。
            不使用膠帶固定電線于地上或墻上。
            使用插座時應(yīng)確定所使用工具之電壓與插座電壓是否相同。
            無論任何電線均不可用腳踩踏。
             
            文件資料之管制
            O/I需置于指定位置,不可任意放置,使用后需立即歸回原位 。
            O/I內(nèi)容不可徑自書寫、涂改或做其它記號 。
            攜入無塵室之影印資料,需放入透明文夾內(nèi),打印資料應(yīng)用噴墨打印機打印。
            雙孔或三孔打孔機禁止放置在生產(chǎn)區(qū)使用。
             
            標(biāo)示標(biāo)語之管制
            不得任意撰寫標(biāo)語張貼。
            張貼標(biāo)示時應(yīng)依規(guī)定格式,并經(jīng)制造主管同意。
            消火箱滅火器之管制。
            滅火器附近走道應(yīng)保持暢通。
            滅火器位置應(yīng)按規(guī)定放置并有清楚之標(biāo)示牌。
             
            離開無塵室之管制
            除緊急逃生外必須由Gowing Room路徑離開。
            人員進(jìn)入更衣室后,脫去手套、口罩、網(wǎng)帽,并依規(guī)定垃圾桶丟棄。
            脫無塵鞋,將無塵鞋置于自己鞋柜中。
            脫無塵衣,將無塵衣置于自己衣架上(先脫上半身再脫下半身)。
            無塵衣掛上衣架后確實將拉煉拉至領(lǐng)口,以防無塵衣滑落。
            小型器具物品可隨人員辦登記后攜出無塵室。
            大型器具物品需有兩組人員內(nèi)外接應(yīng),人員則按離開無塵室手續(xù)離開。
             
            設(shè)備保養(yǎng)之管制
            執(zhí)行保養(yǎng)前應(yīng)要求機臺LOAD/UNLOAD凈空。
            所有零件器具不可置于地上,大型器具對象應(yīng)以塑料布墊妥再置于地上。
             
            無塵衣物清洗與更新之管制
            各區(qū)無塵衣物清洗每周一次。
            原則上避免施工人員自備無塵衣物,統(tǒng)一由公司提供。
            無塵衣物管理單位應(yīng)將發(fā)放給予公司同仁之無塵衣物加以編號管理。
            無塵衣磨/破損嚴(yán)重或修補超過三次應(yīng)予以丟棄。
             
            稽核改善與獎懲
            品保單位應(yīng)定期檢測無塵室環(huán)境狀況并依追蹤改善情形。
            制造單位或相關(guān)單位應(yīng)全力配合品保單位之稽核行動,不可刁難或拒絕配合。



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